一、比較法
它是把被測工件表面與表面粗糙度樣板相比較的方法，是借助于檢測人員的肉眼觀察和手摸感觸進行比較、判斷工件表面粗糙度的。這種方法簡便，適宜于車間生產檢測。但是，表面粗糙度樣板必須是用與被測工件相同的材料，相同的加工方法制成的，否則影響判斷的正確性。在成批生產時，也可以從生產的工件中挑選樣品，經驗定后作為表面粗糙度樣板。
二、光切法
它是利用 “光切原理”來測量被測工件表面粗糙度的方法。光切法的測量原理：光源1發出的光，經過光闌狹縫2生產光帶投射到被測工件3的表面上而形成一個光切面，在其反射光的方向有一套顯微鏡裝置，將光切面處的微觀幾何形狀放大，顯示在分劃板上，左邊的目鏡視場圖，即是目鏡所觀察到的放大圖像。
三、光波干涉法
它是利用光波干涉顯微鏡和多光束干涉顯微鏡。多光束干涉顯微鏡的最大優點是測量精度高，其測量精度可達0.001~0.003um；但它調整困難，不如雙光束顯微鏡應用廣泛。
四、感觸法
它利用觸針直接在被測工件表面上輕輕劃過，從而測定表面粗糙度Ra值，因此又稱針描法。
五、感觸法測量原理
傳感器的端部裝有非常尖銳的金鋼石觸針：測量時，將觸針與被測工件表面相接觸：然后，使驅動箱以一定速度拖動傳感器：當觸針沿被測表面移動時，針尖沿峰谷上下竄動，其竄動量經傳感器換成電量的變化量：再經濾波器將表面輪廓曲線信號，經放大器計算器直接指示Ra值：也可經放大器記錄出圖形，作Rz等多種參數的評定。
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