測(cè)量表面粗糙度一般以下幾種方法：
1、比較法：它是把被測(cè)工件表面與表面粗糙度樣板相比較的方法，是借助于檢測(cè)人員的肉眼觀察和手摸感觸進(jìn)行比較、判斷工件表面粗糙度的。這種方法簡(jiǎn)便，適宜于車間生產(chǎn)檢測(cè)。但是，表面粗糙度樣板必須是用與被測(cè)工件相同的材料，相同的加工方法制成的，否則影響判斷的正確性。在成批生產(chǎn)時(shí)，也可以從生產(chǎn)的工件中挑選樣品，經(jīng)驗(yàn)定后作為表面粗糙度樣板。
2、光切法：它是利用 “光切原理”來(lái)測(cè)量被測(cè)工件表面粗糙度的方法。光切法的測(cè)量原理：光源1發(fā)出的光，經(jīng)過光闌狹縫2生產(chǎn)光帶投射到被測(cè)工件3的表面上而形成一個(gè)光切面，在其反射光的方向有一套顯微鏡裝置，將光切面處的微觀幾何形狀放大，顯示在分劃板上，左邊的目鏡視場(chǎng)圖，即是目鏡所觀察到的放大圖像。
3、光波干涉法：它是利用光波干涉顯微鏡和多光束干涉顯微鏡。多光束干涉顯微鏡的最大優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高，其測(cè)量精度可達(dá)0.001~0.003um；但它調(diào)整困難，不如雙光束顯微鏡應(yīng)用廣泛。
4、感觸法：它利用觸針直接在被測(cè)工件表面上輕輕劃過，從而測(cè)定表面粗糙度Ra值，因此又稱針描法。
5、感觸法測(cè)量原理：傳感器的端部裝有非常尖銳的金鋼石觸針：測(cè)量時(shí)，將觸針與被測(cè)工件表面相接觸：然后，使驅(qū)動(dòng)箱以一定速度拖動(dòng)傳感器：當(dāng)觸針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí)，針尖沿峰谷上下竄動(dòng)，其竄動(dòng)量經(jīng)傳感器換成電量的變化量：再經(jīng)濾波器將表面輪廓曲線信號(hào)，經(jīng)放大器計(jì)算器直接指示Ra值：也可經(jīng)放大器記錄出圖形，作Rz等多種參數(shù)的評(píng)定。
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